能量色散型X熒光光譜儀可應用于物理、化學、地質地理、環保、冶金、材料等領域中的成份分析以及工礦企業質量監控。能對各種物質中金屬與非金屬元素進行定性定量分析。可不破壞樣品無損檢測，無標樣半定量效果好。金屬、粉末與塊狀樣品可直接進樣測量。
　　關于能量色散型X熒光光譜儀計數率不穩定的分析：
　　能量色散型X熒光光譜儀的常用探測器有二個：流氣計數器和閃爍計數器。閃爍計數器很穩定，問題常出現在流氣計數器上。
　　流氣計數器窗膜由一塊聚酯薄膜、聚丙烯薄膜鍍上一層很薄(約30nm)的鋁膜所構成，由于窗膜承受大氣壓力，一段時間后隨著基體材料的延展，鋁膜可能產生裂紋，從而減弱導電性能，這種情況對脈沖高度分布影響不大，但會使計數率不穩定。新型號的能量色散型X熒光光譜儀一般都安裝1μm甚至0.6μm的窗膜，而不再使用6μm的窗膜，因此流氣計數器的窗膜導電性能下降的可能性增大。
　　檢查方法：
　　在低X射線光管功率情況下，選一個K Kα計數率約2000CPS的樣品，測定計數率，然后用一個鉀含量高的樣品取代原樣品，將光管調到滿功率，保持2分鐘，再將X射線光管功率減至原值，測量*個樣品，如窗膜導電正常，將得到原計數率，如窗膜導電性能變差，會發現計數率減小，然后慢慢回升至初始值，這時就應調換窗膜。