工業衍射儀是材料科學、工業生產及質量控制領域不可少的精密分析儀器，其核心功能是通過X射線與物質相互作用產生的衍射現象，解析材料的晶體結構、物相組成及微觀缺陷信息。該技術基于布拉格定律（2d sinθ=nλ），當單色X射線以特定角度θ照射晶體時，若滿足晶面間距d與波長λ的幾何關系，則會在特定方向產生衍射增強信號，形成特征衍射圖譜。

　　工業衍射儀的安裝指南：

　　一、安裝前準備

　　1.場地選址要求

　　空間：

　　預留足夠操作與維護空間（通常主機尺寸約800×600×1200 mm，還需前后左右各≥50 cm操作距離）；

　　門寬應能通過儀器（部分工業機型帶防震底座，體積較大）。

　　地面：

　　堅固、水平、無振動（遠離大型沖壓機、空壓機、電梯井等振源）；

　　建議安裝在底層或地下室，必要時加裝防震平臺。

　　環境條件：

　　溫度：15–30℃（波動≤±2℃/h）；

　　濕度：30–70%RH（無冷凝）；

　　無腐蝕性氣體、粉塵、強電磁干擾（如變頻器、大功率電機附近）。

　　2.電力與接地

　　電源：

　　通常要求AC 220V±5%，50/60 Hz，獨立專線；

　　功率：3–5 kW（含X光管高壓發生器、冷卻系統等）；

　　配備UPS或穩壓電源（防止電壓波動損壞高壓發生器）。

　　接地：

　　專用接地線，接地電阻<4Ω；

　　接地端子必須連接至建筑物主接地極，禁止與水管、暖氣管共用。

　　3.輻射防護準備

　　XRD屬于Ⅲ類射線裝置（中國分類），需符合《放射性同位素與射線裝置安全和防護條例》；

　　安裝區域應設置：

　　電離輻射警告標志；

　　聯鎖門禁或警示燈（開機時自動亮起）；

　　確保鉛玻璃觀察窗或屏蔽罩完好（工業機型通常為全封閉式，泄漏劑量<1μSv/h）。

　　二、主機安裝步驟

　　1.開箱與搬運

　　使用叉車或液壓搬運車，嚴禁傾斜超過15°（防止X光管油芯移位）；

　　拆除運輸固定螺栓（通常位于測角儀底座），否則影響精度。

　　2.水平調校

　　將儀器置于預定位置；

　　使用高精度電子水平儀（精度0.02 mm/m）放置于測角儀平臺；

　　調節底部調平腳螺絲，使X/Y方向均水平（誤差≤0.05°）。

　　3.連接外圍設備

　　冷卻系統（若為水冷X光管）：

　　連接去離子水循環冷卻機（電阻率>1 MΩ·cm）；

　　檢查水壓（通常0.1–0.2 MPa）和流量（≥1 L/min）。

　　計算機與通信線：

　　連接控制電腦（USB/Ethernet）；

　　安裝廠商專用控制軟件（如PANalytical HighScore、Bruker DIFFRAC.SUITE等）。

　　4.樣品臺安裝

　　根據測試需求安裝樣品架（如零背景硅片holder、旋轉樣品臺、高溫附件等）；

　　確保樣品臺與測角儀中心對齊。

　　三、安全與功能檢查

　　1.輻射泄漏測試（必須由有資質單位執行）

　　使用劑量儀檢測儀器表面5 cm處輻射劑量率；

　　國標要求：≤2.5μGy/h（中國）或0.5 mR/h（美國）。

　　2.開機自檢

　　啟動高壓發生器，檢查X光管是否正常出束；

　　測角儀執行初始化歸零（home position）；

　　光閘、快門、聯鎖開關功能測試。

　　3.標準樣品校準

　　使用標準硅粉（NIST SRM 640e）進行2θ角度校準；

　　驗證峰位偏差應<±0.01°。