XRF在元素定性上有ICP*的優點，同時在定量上同樣可以和任何一種元素分析儀器相媲美。XRF樣品基本不用前處理，而用ICP，樣品需要進行化學處理為溶液。對于XRF來說，樣品的前處理有很大的技巧性。塊狀金屬，基本上磨一下測量面就可以了，非塊狀樣品如果采用壓片法那就要求磨至一定的粒度以下，要不粒度效應會比較嚴重。采用熔融法是處理樣品的一種方式了，只不過形成的是一種固體溶液。而ICP毫無疑問必須溶成溶液。
　　XRF可以迅速定性，元素定性方面無人能比，像紅外在有機官能團定性一樣迅速。
　　定量方面，相比看來ICP定量較為簡單實在，易于操作。XRF做標樣和樣品處理需要配套的制樣設備，包括壓片機和熔樣爐等，不易操作。但是不能下XRF不能定量的結論，相對于測純金屬、合金含量分析，XRF是比ICP更合適。XRF與ICP配合起來用，利用XRF定性優勢配合ICP前處理及基體匹配，從而做到定量方便快捷。
　　XRF定性分析比較方便，但是定量的結果沒有ICP好，就算有標樣進行校正也存在誤差;但是ICP比較適合微量分析，主體成分的話容易帶入稀釋誤差。
　　XRF是檢測物質中各種氧化物和元素的含量，以及成分分析。ICP一般應用于溶液中化合物離子的含量分析。
　　XRF在表面化學分析方面很準，但是必須購買對應的標準品，用來繪制標準曲線。此外，XRF的樣品需要前處理的，也必須滿足很多條件，比如表面光滑、成分均勻才能保證結果的準確。比如粉碎或者融片之類的，都是為了讓成分均勻。而ICP測溶液中的PPM級的元素含量。如果保證操作得當、曲線配置好的話，結果也會相當準。